基材的價(jià)格和質(zhì)量由材料，形狀，尺寸，公差和拋光質(zhì)量決定。 在本上，我們將提供有關(guān)上述每個(gè)問題的進(jìn)一步信息。 但請(qǐng)注意：所有這些說明都非常簡(jiǎn)化。 詳細(xì)說明請(qǐng)閱讀相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的全文。 我們也很高興通過電子郵件或討論您的詳細(xì)問題。

材料

*個(gè)決定是基材的材料。 對(duì)于高透射率的所有波長(zhǎng)應(yīng)該沒有吸收。 如果不發(fā)生傳輸，可以使用低成本材料，例如， G。 Borofloat®（肖特公司）用于金屬鏡。 對(duì)于表面形狀公差，低熱膨脹是有益的。

形狀

必須分別為兩側(cè)形狀。 基本上，平面，凸面和凹面的所有組合是可能的。 一個(gè)特殊的角色扮演了一個(gè)角色。 可以在各種表面（平面以及凸或凹）上施加楔形（例如30弧度）。 對(duì)于彎曲的基底，半徑符號(hào)有不同的約定。 有時(shí)“+”表示凸，“ - ”表示凹。 其他用戶將“+”和“ - ”指向光傳播。 在這種情況下，“+”是指“具有傳播方向的曲率”，“ - ”表示“相對(duì)于傳播方向的曲率”。 為了避免混淆，請(qǐng)分別用字母或縮略詞CC或CX凹或凸。

尺寸

主要決定是邊緣長(zhǎng)度或直徑。

除非另有說明，否則厚度說明是指基材的大厚度， e。 平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。 因此，在較厚的一側(cè)測(cè)量楔形板。

為了達(dá)到良好的形狀公差，應(yīng)該注意直徑和厚度的比例。 根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，厚度應(yīng)該是直徑的第五部分。 當(dāng)然，其他比例是可能的，但生產(chǎn)支出卻增加。

規(guī)范不同類型基板厚度的規(guī)定（原理圖）

公差

除了尺寸和材料外，公差對(duì)于價(jià)格重要。 當(dāng)然，光學(xué)元件必須裝入安裝座，所以直徑不能大于規(guī)定值。 常見的規(guī)格是 - 0.1mm。 大多數(shù)情況下，厚度在兩個(gè)方向都是自由的。 LAYERTEC通常以±0.1mm的公差表示。 對(duì)楔形，平行度和定中心的規(guī)格有很多混亂。 請(qǐng)注意，楔形和平行度描述光學(xué)表面之間的角度，同時(shí)居中描述光學(xué)表面和側(cè)面之間的角度（見圖2）。

圖2相對(duì)于楔形和定中心的不同種類的平面基板（示意圖）

LAYERTEC標(biāo)準(zhǔn)基板的平行度優(yōu)于rcmin。特制的平行線可能具有低達(dá)10arcsec的并行度。標(biāo)準(zhǔn)楔形襯底具有0.5°或1°的楔形。取決于襯底尺寸，更大的楔角是可能的。通常，與側(cè)面成90°角的精度為20arcmin。定心是一種額外的光學(xué)處理，可將精度提高到幾弧度。

使用相同的術(shù)語可以描述彎曲的底物。應(yīng)該區(qū)分鏡子和鏡頭。鏡面基板的側(cè)面只是平行的。然而，光軸的方向可以傾斜于側(cè)表面。側(cè)面對(duì)中心平行于光軸。這樣鏡子基板就成為一個(gè)透鏡。

表面容差

表面形狀公差通常由干涉儀測(cè)量，并且以λ為參考，其為參考波長(zhǎng)。沒有進(jìn)一步的陳述，參考波長(zhǎng)λ= 546nm。為了避免混淆，必須明確區(qū)分平面度，功率和不規(guī)則性。在下文中，平面和不規(guī)則性應(yīng)在平面上進(jìn)行說明。

圖。 3平面度，功率和不規(guī)則性的示意圖。*基板的平坦度為λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的功率以及λ/ 10的不規(guī)則性。第三基板在每個(gè)表面上具有不規(guī)則的λ/ 4，但是透射波前的變形僅為λ/ 10。

一般來說，每個(gè)真實(shí)的表面或多或少都是彎曲的。想象一下，實(shí)際表面的“峰”和“谷”被平行平面覆蓋（見圖3）。這些平面之間的距離稱為平坦度。這種平整度由兩個(gè)貢獻(xiàn)組成。*個(gè)貢獻(xiàn)是表面的球形彎曲，其可以由用于“峰值”和“谷”的兩個(gè)佳擬合球體描述。該曲率相對(duì)于理想平面的矢狀表示為功率。這種球形彎曲不影響反射光束的質(zhì)量。它只是造成有限的焦距。第二個(gè)貢獻(xiàn)是適合的球體的偏差，其被表示為不規(guī)則性。這是梁的質(zhì)量重要的價(jià)值。

標(biāo)準(zhǔn)ISO 10110為表面形狀公差提供了足夠的機(jī)會(huì)。與測(cè)量結(jié)果具有佳可比性，所有值都以干涉條紋數(shù)量給出。它們應(yīng)該讀為1條紋=λ/ 2。在圖中，表面形狀公差被分配為項(xiàng)目編號(hào)3：3 /功率（不規(guī)則）

示例：規(guī)則（λ/ 10）的稍微彎曲（λ/ 4）光學(xué)器件將被規(guī)定如下：3 / 0.5（0.2）

僅使用光學(xué)元件進(jìn)行透射（例如激光窗），功率以及不規(guī)則性并不重要。如果光學(xué)器件在自由孔徑上具有相同的厚度，則透射束不受影響。與平等度相似的方式定義與此相等的偏離。它也以參考波長(zhǎng)的一部分進(jìn)行測(cè)量，稱為“發(fā)射波前”。例如，圖3中的窗口具有λ/ 4的平坦度，但是λ/ 10的透射波前。

涂層應(yīng)力

薄基材通常不能承受涂層應(yīng)力。涂層將導(dǎo)致球形變形。這意味著發(fā)生有限的矢量或功率。在圓形基板的情況下，不規(guī)則性不受此問題的影響。認(rèn)真考慮上述價(jià)值，平整度變差。然而，梁的質(zhì)量不受影響。

缺陷

MIL-O -13830和ISO10110是用于描述光學(xué)元件的不同標(biāo)準(zhǔn)。這通常會(huì)導(dǎo)致晦澀難懂。基本上應(yīng)該區(qū)分劃痕和挖掘。 MIL-O-13830中的劃痕和挖掘數(shù)字是指以十分之一微米為單位的大劃痕寬度，以毫米為單位的大挖掘直徑。大尺寸挖掘可以直徑為20mm。根據(jù)ISO10110，缺陷被為項(xiàng)目編號(hào)5.等級(jí)數(shù)字是指二次區(qū)域的相對(duì)于總故障面積的邊長(zhǎng)（毫米）。所以5 / 1x0.025表示0.000625 mm2的表面故障面積。另外，任何長(zhǎng)度的劃痕由的L表示。寬度為4微米的長(zhǎng)劃痕將被為L(zhǎng) 1 x 0.004。